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SiO2膜層標準

序號

膜層指標

標準范圍

測量方法

1

膜層厚度

250?

表面形貌儀

2

透過率

90

分光光度計

3

阻擋層性能

<10ug/dm2

夾具夾持96度煮48小時用原子吸收光譜法測量

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