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ITO膜層標準

序號

膜層特性

標準范圍

測量方法

1

刻蝕時間

見上表

刻蝕液成分:HCI:H2O:HNO3=50:50:3

刻蝕溫度:60

2

熱穩定性

Rt/R0250

TN型,STN型,HTN300℃,60分鐘

Rt/R0110

TP150℃,60分鐘(或按客戶要求控制)

3

耐堿性

Rt/R0110

TN型,HTN型,STN型,TP-150型:10%(wtNaOH,60℃,5分鐘,

TP400型:10%(wtNaOH,40℃,5分鐘

4

耐酸性

Rt/R0110

6%(vHCI,25℃,2分鐘

5

耐溶劑性

Rt/R0110

丙酮或酒精,25℃,5分鐘

6

附著性

無掉膜

3M膠帶粘玻璃,然后拉開

7

耐磨性

無開路

用橡皮1公斤力摩擦玻璃100

8

耐濕性

Rt/R0110

60℃,90RH,24小時

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